有限会社VIYIA

VIYIA Ltd
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両面マクスアライナーの写真. Photo of double side mask aligner.

 
仕様*
手動マスクアライナー

型番: UV400-LED
基板: 2 インチ
マスク: 5 インチグラス
レジスト:g 線及び i 線両方対応
照度: 3 mW/c㎡
UV均一性:±50%
露光方式:コンタクト
ピント: オートフォーカス及び手動モード
解像度: 2 um
アライメント誤差:正面4 um、裏面あるいは赤外線8 um以内
作動距離:32 mm(アライメント)、最大400 mm(露光)
外形寸法:w0.36 m x d0.3 m x h0.58 m
重量: 10 Kg
電源: < 1 A @ 100-240V
真空・圧縮空気: 不要
 
オプション                                                          
真空チャック
異形状の基板用チャック
 
 *予告なく変更する場合があります。測定方法はこちら
Technical Data* for
Manual mask aligner

Model: UV400-LED
Wafer size: up to 2"
Mask size: 5" glass
Photoresist: Both g- and i- line type
UV intensity: 3 mW/cm^2
UV uniformity: +/-50%
Exposure: Contact mode
Focus: Autofocus mode and manual mode
Resolution: 2 um
Misalignment: <4 um(frontside), <8 um(backside or infrared)
Working distance: 32 mm(alignment), up to 400 mm(exposure)
Dimension: w0.36 m x d0.3 m x h0.58 m
Weight: 10 Kg
AC power: < 1 A @ 100-240 V
Vacuum/Air: Not necessary
 
Optional                                                          
Vacuum chunk
Chunk for irregular substrate
*Specifications may be changed without prior notice.  Materials and methods are discribed here.

 設置場所はクリーンルームを必要としない、クリーンベンチも可能Instead of cleanroom, a cleanbench is enough for setup the mask aligner

スピンコーターとマクスアライナーが幅0.8mのクリーンベンチ内設置した写真. Photo of a 0.8m wide cleanbench setup with a spinning coater and our mask aligner.