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小型化によりクリーンベンチ内でマイクロ・ナノ加工の基礎を構築した。
基板サイズを2インチまでに絞り、真空系をコンパクトにまとめた。更に、高電圧低電流の設計方針により、電源とコントローラも小型化に成功した。
熱安定性が優れる石英基板を利用して、高さ・幅・厚み・外径・形状・位置などを、高精度に加工したマスク。
直径12.5mmのミニマルウェハを60枚収納できる真空成形トレイ。
オーダーメイド・ガラスウェハ